蚀刻机和光刻机区别(蚀刻相对于光刻来说要容易一些)
来源:网络 作者:博搜网 更新 :2022-07-26 10:10
蚀刻相对于光刻而言要非常容易一些。光刻机把图案印上去,随后蚀刻机依据印上去的图案蚀刻掉有图案(或是并没有图案)的一部分,留有剩余的部分。
“光刻”就是指在涂上光刻胶的圆晶(或是叫单晶硅片)上盖紧事前搞好的光刻板,然后用紫外光隔着光刻板对圆晶开展一定时长的直射。基本原理是使用紫外光使一部分光刻胶质变,便于浸蚀。
“蚀刻”是光刻后,用腐蚀液将质变的这一部分光刻胶浸蚀掉(正胶),圆晶表层就凸显半导体元器件以及联接的图型。然后用另一种腐蚀液对圆晶浸蚀,产生半导体元器件以及电源电路。蚀刻分成二种,一种是干刻,一种是湿刻(现阶段流行),说白了,湿刻便是情况下存水添加,将上边通过光刻的圆晶与特殊的化学溶液反映,除掉不需要的一部分,剩余的就是电路结构了,干刻现阶段都还没完成商业服务批量生产,其基本原理是由等离子替代化学溶液,除去不需要的硅圆一部分。
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